机械系统

  • 开展以机电一体化为核心的构件技术与应用该技术的精密系统设备的开发。开发成果为以节能为目的的混合动力工程机械,以实现高数字化社会为目的的液晶和半导体设备等的制造工艺提供了支持。

技术

  • 执行器技术
  • 机械设计技术
  • 高精度伺服控制技术
  • 电力电子技术

用途

  • 节能控制设备
  • 精密系统设备

混合动力电磁起重机

ZnO成膜设备

半导体激光退火设备