TCE 系列

TCE 系列

风量:10CMM~20CMM
控制范围:10㎡~20㎡/台
温度控制精度:±0.5℃~±0.02℃
湿度控制精度:±5%~±0.5%
适用范围:
广泛应用于金属纳米级模具加工;超精密测量;半导体曝光、涂布技术;电子束曝光技术;液晶等离子面板制造等各个领域。
特别适合对于小面积、超高精度恒温恒湿等控制的客户需求。

 
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