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真空成膜装置

特点
住友重机械的太阳能电池用成膜装置有如下特点:
- 低电阻
- 对底层材料低损害
- 可长时间连续运行
- 较高的放电稳定性
- 高附着性
特点还有
利用高品质成膜,即使是晶体硅太阳能电池,也可实现提高混合型太阳能电池的转换效率。
在CIGS型太阳能电池的制造上,也有助于提高转换效率。
可以广泛适用于从实验装置到量产机械的溅射装置·RPD(Reactive Plasma Deposition)装置等,也可按照客户实际要求提供方案。


产品阵容
太阳能电池制造装置 | 可提供安装高效·低耗的太阳能电池制造装置。 有关”提高转换效率”,请咨询住友重机械。 |
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有关产品的详细信息
产品相关咨询
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