真空成膜装置

特点

住友重机械的太阳能电池用成膜装置有如下特点：

• 低电阻
• 对底层材料低损害
• 可长时间连续运行
• 较高的放电稳定性
• 高附着性

特点还有

利用高品质成膜，即使是晶体硅太阳能电池，也可实现提高混合型太阳能电池的转换效率。
在CIGS型太阳能电池的制造上，也有助于提高转换效率。

可以广泛适用于从实验装置到量产机械的溅射装置·RPD（Reactive Plasma Deposition）装置等，也可按照客户实际要求提供方案。

产品阵容

太阳能电池制造装置	可提供安装高效·低耗的太阳能电池制造装置。 有关”提高转换效率”，请咨询住友重机械。