真空泵的一种。
真空泵可分为气体传输式和气体捕集式两类。而且，如果按照工作压力范围进行分类，则可以分为低真空～中真空泵和高真空～超高真空泵。低真空～中真空泵包括油回转真空泵、干式真空泵，而高真空～超高真空泵则包括涡轮分子泵、低温泵、溅射离子泵、油扩散泵。

低温泵具有如下特点。

本公司销售SICERA和Marathon两种类型的低温泵

SICERA是S：Sumitomo I：Inverter integrated C：Cryopump with E：Energy R：Reduction A：Advantage的略称，具有以下特点。

1. 1可单独控制的多泵系统

   可用1台压缩机运行最多11台8英寸泵

2. 2高可靠性

   大量低温泵用制冷机的实绩

3. 3高节能效果

   与本公司以往产品相比△40%：10.3kW → 6.1kW（运行8台8英寸泵时）

   ※上述数值仅供参考。会根据使用状况而变化。

4. 4Ar气体吸附量

   是本公司以往产品的2倍：8英寸型吸附1,000升提升至2,000升

另一种低温泵Marathon在美国生产基地Sumitomo(SHI) Cryogenics of America, Inc.生产，具有以下特点。

1. 1

   自主研发的冷板设计

2. 2

   较大的氢气排气容量

3. 3

   长再生周期和短再生时间

4. 4

   支持8-20英寸的广泛尺寸范围

为了向全球客户提供支持，我们构建了销售、服务、制造的全球网络，努力提供同样的品质和性能。